金靶產(chǎn)品詳細參數:
金靶產(chǎn)品詳情:
一、什么是金靶材?
金靶材是一種制作半導體、微電子器件以及光學(xué)器件等的重要材料。它以純金或金屬合金為主要成分,通過(guò)各種制備方法制成。通常制備出的靶材形狀為平板、圓盤(pán)等,尺寸大小不一。
二、金靶材的成分組成及制備方法
1.成分組成
金靶材的成分可以是純金或和其他金屬組成的合金,在制備過(guò)程中加入適當量的其他金屬元素來(lái)改善金屬的物理和化學(xué)性質(zhì)。
2.制備方法
(1)冶金法:利用冶金原理,通過(guò)熔融、合金化等工藝將金屬材料制成靶材。
(2)蒸鍍法:利用電子束或離子束在基板表面蒸鍍金屬材料制成靶材。
(3)化學(xué)氣相沉積法:在特定條件下,通過(guò)化學(xué)反應在基板表面沉積金屬材料制成靶材。
三、金靶材的應用
1.制造半導體
金靶材制成的薄膜可以用于制造集成電路、觸控面板、LED等半導體器件。
2.光學(xué)器件
金靶材可以制成反射膜、濾光片等光學(xué)器件,用于激光器、光纖通信等。
3.其它應用
金靶材還用于制造磁性材料、涂層材料等。
金靶材的形狀通常為平面或異型,包括圓形和長(cháng)方形等,它們在濺射鍍膜過(guò)程中被使用,以制備具有特定功能的金屬層。金靶材的高純度和穩定性使其成為這些應用領(lǐng)域的理想選擇。
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